ST-21H型方塊電阻測(cè)試儀是一種依照類似的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)和美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn),專門(mén)測(cè)量半導(dǎo)體薄層電阻(表面電阻)的新型儀器,可用于測(cè)量一般半導(dǎo)體材料、導(dǎo)電薄膜(ITO透明氧化膜),金屬薄膜……等同類物質(zhì)的薄層電阻。 |
該儀器以大規(guī)模集成電路為主要核心;用基準(zhǔn)電源和運(yùn)算放大器組成高精度穩(wěn)流源;帶回路有效正常指示電路;并配以大型LCD顯示讀數(shù),使儀器具有體積小、重量輕、外形美、易操作、測(cè)量速度快、精度高的特點(diǎn)。 |
|
◆ 特點(diǎn): |
|
1 | 采用大規(guī)模集成電路作為儀器的主要部分,測(cè)量準(zhǔn)確穩(wěn)定,低功耗; | 2 | 以大屏幕LCD顯示讀數(shù),直觀清晰; | 3 | 采用單個(gè)電池供電,帶電池欠壓指示; | 4 | 體積≤175mm X90mm X42mm,重量≤300g; | 5 | 特制之手握式探筆,球形探針、鍍金探針有效接觸被測(cè)材料及保護(hù)薄膜 | 6 | 探頭帶抗靜電模塊 |
|
|
◆ 技術(shù)指標(biāo): |
|
測(cè)量范圍 | 按方塊電阻量值大小分為二個(gè)量程檔: 1.方塊電阻 1.0~1999.9Ω/□; 2.方塊電阻 10~19999Ω/□; z小分辨率:0.1Ω/□; | 恒流源 | 測(cè)量過(guò)程誤差:≤±0.8% | 模數(shù)轉(zhuǎn)換器 | 量程:0~199.99mv; 分辨率:10μv; 方式:LCD大屏幕顯示;極性,超量程均自動(dòng)顯示;小數(shù)點(diǎn)同步顯示; | 測(cè)量不確定度 | 在整個(gè)量程范圍內(nèi),測(cè)量不確定度≤5% | 四探針探頭規(guī)格 | 間距:1mm、1.59mm、3.8mm;偏差≤2%;游移率≤0.3%;絕緣電阻≥500MΩ | 電源 | 9V疊層電池1節(jié) |
|
|
◆ ST-21H方塊電阻測(cè)試儀可選配HP系列四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格: |
型號(hào) (Model) | 曲率半徑 (Radius) | 壓力 (loads) | 探針間距 (spacing) | 探針排列 (Arrangement) | HP-501 | 0.5mm | 100g | 3.8mm | 直線 | HP-502 | 0.75mm | 100g | 3.8mm | 直線 | HP-503 | 0.1mm | 150g | 1mm | 直線 | HP-504 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 直線 |
|
|
◆ ST-21H方塊電阻測(cè)試儀可選配SP-601型方型四探針探頭的型號(hào)及規(guī)格: |
型號(hào) (Model) | 曲率半徑 (Radius) | 壓力 (loads) | 探針間距 (spacing) | 探針排列 (Arrangement) | SP-601 | 0.5mm | 100g | 1.59mm | 方形 |
|